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TFT 減薄粉是一種用于薄膜晶體管(TFT)液晶顯示屏玻璃減薄工藝的關(guān)鍵材料,以下是關(guān)于它的一些介紹:
一、作用
在 TFT 液晶顯示屏的制造過程中,玻璃基板需要進(jìn)行減薄處理,以降低顯示屏的重量和厚度,提高其性能和便攜性。TFT 減薄粉通過化學(xué)機(jī)械研磨(CMP)的方式,幫助去除玻璃基板表面的多余材料,實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的減薄效果,同時(shí)保證玻璃表面的平整度和光潔度,減少表面缺陷,提高顯示屏的顯示質(zhì)量。
二、性能要求
研磨效率:具有較高的研磨去除速率,能夠在較短的時(shí)間內(nèi)去除玻璃基板的一定厚度,提高生產(chǎn)效率。
粒度分布:顆粒粒度需要均勻且適中,太粗的顆??赡軐?dǎo)致玻璃表面劃傷,太細(xì)的顆粒則可能研磨效率低下。合適的粒度分布有助于實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)、高效的研磨過程,并保證玻璃表面的質(zhì)量。
硬度:需要有適當(dāng)?shù)挠捕龋饶苡行а心ゲAР牧?,又不?huì)對(duì)玻璃基板造成過度損傷或產(chǎn)生裂紋等缺陷。
化學(xué)穩(wěn)定性:在與玻璃基板和減薄過程中使用的化學(xué)試劑接觸時(shí),應(yīng)具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性,不會(huì)發(fā)生不必要的化學(xué)反應(yīng)而影響減薄效果或?qū)е略O(shè)備腐蝕等問題。
懸浮性:在減薄液中能夠較好地懸浮,不易沉淀,以保證研磨顆粒能夠均勻地分布在研磨體系中,實(shí)現(xiàn)均勻的研磨效果。