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在半導(dǎo)體加工過程中,拋光液無疑是一個(gè)重要的工藝。它主要用于半導(dǎo)體表面的加工,研磨液和拋光液是影響半導(dǎo)體表面質(zhì)量的重要因素。那么,為什么研磨拋光液具有如此強(qiáng)大的能力呢?研磨拋光液到底有哪些優(yōu)點(diǎn)呢?讓我們一起來了解一下吧:
半導(dǎo)體加工中主要的工藝之一就是研磨,研磨是使用化學(xué)磨料混合磨料來加工半導(dǎo)體表面并使其成為精密儀器的過程。需指出的是,化學(xué)拋光工藝幾乎涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的每個(gè)環(huán)節(jié),使拋光液成為影響半導(dǎo)體表面成功的重要因素。
事實(shí)上,普通磨料拋光液有很多種,不同的磨料拋光液具有不同的特質(zhì)和功能。氧化鋁研磨液具有多種特性,因此在選擇過程中,用戶可以選擇具有不同效果的氧化鋁研磨液,它的研磨速度也很快,可以節(jié)省研磨時(shí)間,提高生產(chǎn)效率。效果也比較好,表面也比較光滑。金剛石研磨液是一種比較常見的研磨液,需要用油或水稀釋,但它的優(yōu)點(diǎn)也很突出,效果明顯,而且舒適、無污染、不腐蝕。不僅如此,金剛石顆粒具有良好的硬度和均勻的晶粒尺寸,因此研磨效果也非常好。藍(lán)寶石研磨液是一種使用藍(lán)寶石基底研磨并減小厚度的研磨液。
通過上述內(nèi)容講解,大家已經(jīng)了解了傳統(tǒng)研磨拋光液的益處和效果,但不同的產(chǎn)品需要選擇不同類型的研磨拋光液。如何選擇合適的研磨拋光液才是大家需要掌握的。