稀土拋光液的性能直接影響被拋光工件的表面質(zhì)量，是雙面拋光的關(guān)鍵要素之一。稀土拋光液一般含有超細(xì)固體磨粒、表面活性劑、氧化劑和穩(wěn)定劑，其中固體磨粒具有切削作用，去除發(fā)生化學(xué)變化需要切除的部件，氧化劑產(chǎn)生化學(xué)腐蝕和溶解，從而溶解碎屑。在拋光過程中，稀土拋光液中磨粒的種類、形狀、尺寸、濃度、化學(xué)成分、pH值、粘度、流速和流路都會影響去除率。

在對不同材質(zhì)的工件進行拋光時，所需要的拋光液的成分和pH值也不同。pH值影響工件的表面質(zhì)量和去除率，與磨料的分解和溶解度、拋光表面的蝕刻、氧化膜的形成和懸浮液（膠體穩(wěn)定性）有關(guān)，必須嚴(yán)格控制拋光液的pH值。拋光氧化物時，拋光液一般選用SiO，作為磨料，pH控制在10以上，拋光金屬時，拋光液一般選用酸性，以保證pH值在較小值，以獲得非常高的工件去除率。

根據(jù)其硬度，磨?？煞譃檐浤チ：陀材チ纱箢?。常用的磨粒有四種：氧化鋁系列、硬質(zhì)合金系列、超硬磨具系列、軟磨具系列。拋光用磨粒應(yīng)具有以下性能：

1、磨粒的形狀和大小均勻一致，并保持在規(guī)定的范圍內(nèi)；

2、磨粒的熔點高于工件的熔點；

3、磨?？蛇m當(dāng)破碎，使切削刃更鋒利；

4、磨粒容易分散在拋光液中。

一般來說，當(dāng)磨粒硬度和尺寸增大時，工件的去除率增加，但同時劃痕增加，工件表面質(zhì)量下降，同時磨粒尺寸也增加小，容易造成結(jié)塊，增加工件表面的劃痕。隨著拋光液中磨粒濃度的增加，工件去除率增加，但當(dāng)磨粒濃度達(dá)到一定水平時，工件去除率也停止增加，并保持在一定的常數(shù)。這種現(xiàn)象稱為材料去除飽和，但由于磨粒濃度的增加，反而使工件表面的劃痕增多，表面質(zhì)量下降。

研究稀土拋光液的目的是尋找去除率高、平整度好、膜厚均勻性好的拋光液，以達(dá)到機械和化學(xué)效果的理想結(jié)合。此外，還必須考慮拋光機的腐蝕性、易清潔性、處置成本和安全性等方面。

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